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静电对无尘车间的危害有什么?

发布日期:2020-04-08 浏览次数:0

  本文以传统半导体、平面液晶显示器、光电子和生物医学车间为例,分析静电的产生、对无尘车间的危害以及解决办法。

  1、无尘车间

  半导体、平板液晶显示器、光电子、生物医学等都需要无尘车生产车间。无尘车间通常是指将空气中的悬浮颗粒浓渡控制在规定的范围内或限定内的空间。粒度越小,颗粒数量越少,清洁度就越高。

无尘车间

  2、静电的产生

  ① 大量高绝缘装饰材料,普通地板、墙壁、门、天花板、隔断、工作台、椅子等,这些材料容易被摩擦带电,不易静电荷的泄漏和释放。

  ② 当人们穿着干净的工作服和鞋子散步或工作时,与不同的材料和设备摩擦会产生静电,人、衣服和鞋子会通电。

  例如,人们穿着尼龙衣服和塑料橡胶底,在干净的地板上慢慢地走,人们就会戴着7000v~8000v的静电压;走在乙烯基板上可承受1200伏(10%-20%RH)、250伏(65%-90%RH)的静态电压;走在地毯上可承受35000伏(10%-20%RH)、1500伏(65%-90%RH)。晶片装配线工人穿的工作服可达10KV。

  ③ 空调气流通过一级过滤器、中间过滤器和高效过滤器,无尘出口气流为静电气流。铝板送风口、回风风口约500-1000V。

  ④ 大量的绝缘子、设备和工具也是重要的静电电荷源。例如,晶片装配生产线的晶片料盒35KV、石英制品1.5kV、台桌面10KV。

  总之,无尘车间的清洁度要求越高,静电电荷就越严重。由于生产对环境洁净程度的要求,又不得不接受静电的产生,但静电对无尘车间是有危害作用的。

  3、静电对无尘车间的危害

  ① 在静电的作用下,吸附的灰尘和污垢会使元器件产生漏电或短路,从而性能被破坏,大大降低器件的成品率和可靠性,甚至报废。

  ② 元件绝缘氧化膜被击穿破裂,导致导线之间烧灼或熔接。

  ③ 静电放电使电磁干扰产生尖锐的电磁峰和强信号,相当于电路中数伏的能量。强噪声可能导致部件损坏、设备和传感器异常运行,甚至设备死机。

  ④ 当人体ESD或人体受到的ESD超过5mA或极限电击电流时,会使人感到各种伤害,引起工作人员情绪不安和误操作。

  4、解决办法

  既然不能阻止静电的产生,那就只能想办法预防和解决静电带来的危害,所以人们想到了不让静电荷聚集的方法。除了一些对工人服装上的整改和假设一些排电设备,在无尘车间还可以铺设金属骨料防静电地坪。这种方式可以将人体或机械设备上所在静电荷导入大地中,避免静电荷的积累,从而有效控制危害和事故的产生。

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